الصيانة الأساسية اليومية
التحقق من قبل التمهيد
كل يوم يجب أن تحقق من قوة الكابل ، خط أنابيب واجهة الختم و شاشة عرض المعلمة ، إنشاء " تشغيل المعدات سجل " سجل البيانات الرئيسية ( مثل قيمة الضغط ، معلومات الإنذار ) . بعد الانتهاء من العمل ، يجب إفراغ العينة المتبقية لتجنب احتباس العناصر المسببة للتآكل .
تنظيف المكونات الأساسية
المكونات التي تأتي في اتصال مباشر مع عينة ( على سبيل المثال ، مدخل صمام ، خاتم الكمية ) يجب أن تمحى مع الكحول المطلق لمنع الملح أو الجسيمات من عرقلة تدفق المرور .
صيانة النظام الأساسي
صيانة أنظمة التبريد
التحقق من نظافة المبرد مروحة فلتر الشاشة من أشباه الموصلات وحدة التبريد على أساس شهري - النيتروجين السائل مساعدة نظام التبريد يجب التحقق من فراغ زجاجة ديوار واستبدال الختم الدائري .
نقل الحرارة سيليكون الشحوم يجب أن تكون موزعة بالتساوي على واجهة من أجل تجنب زيادة استهلاك الطاقة بسبب زيادة المقاومة الحرارية .
عمق تنظيف نظام الغاز
الفولاذ المقاوم للصدأ الخوار ، صمام الاختيار ، وما إلى ذلك يتم تفكيكها كل ربع ، إيداع المواد العضوية يتم إزالتها باستخدام آلة التنظيف بالموجات فوق الصوتية ، المنخل الجزيئي هو تركيبها في أنبوب التجفيف لزيادة كفاءة التجفيف .
الصيانة الدورية والمعايرة
الخطة السنوية للإصلاح
بما في ذلك ارتفاع في درجة الحرارة تنشيط وتجديد قبل التركيز العمود ، استبدال فلتر القطن ، وتنظيف لوحات الدارات الكهربائية ، والتتابع الاتصال طبقة أكسيد ، المبردات ملء يجب أن تكتمل من قبل الفنيين المهنية .
معايرة أجهزة الاستشعار
أجهزة استشعار درجة الحرارة تحتاج إلى معايرة من قبل طرف ثالث في كل عام ، وحدة تحكم تدفق ( MFC ) إلى أن يتم التحقق من قبل فيلم الصابون تدفق متر ، كاشف التأين الكهروضوئية يحتاج الأرجون تطهير بانتظام .
مواصفات التخزين في حالات الطوارئ
انقطاع التيار الكهربائي المفاجئ في التعامل مع
على الفور إغلاق إمدادات الغاز الناقل لمنع عكس شفط تلف المعدات .
الصيانة على المدى الطويل
إجراء التنظيف الكامل ، والحفاظ على درجة حرارة ثابتة ( 5-35 ℃ ) ، وانخفاض الرطوبة ( < 60 ٪ ) ، وإصلاح أجزاء دوارة أثناء النقل .
من خلال ثلاث مراحل نظام الصيانة ( التفتيش اليومي ، والصيانة الخاصة ، معايرة دورية ) يمكن أن يطيل عمر المعدات بشكل ملحوظ ، وضمان كفاءة عالية ومستقرة تشغيل درجة حرارة منخفضة فراغ نظام التركيز .