INFICON فراغ متر هو أداة تستخدم لقياس ضغط الغاز في منطقة فراغ عالية ( كثافة الهواء أقل من الضغط الجوي ) . مبدأ عملها على أساس التصادم بين جزيئات الغاز و السطح ، و خصائص الحركة من جزيئات الغاز في حالة فراغ .
هناك العديد من أنواع مختلفة من الأجهزة التي تعمل على مبادئ مختلفة ، مثل تدفق الإلكترونات الساخنة والكاثود الأنيونات ، تدفق كبير من الاستيعاب ، حجم الضغط والاهتزاز ، وهلم جرا . أنواع مختلفة من فراغ متر لها خصائص مختلفة ، ومزايا وعيوب ، ويمكن اختيار الأدوات المناسبة وفقا للاحتياجات الفعلية .
Inficon فراغ قياس المبدأ الأساسي :
فائدة نموذج يتكون من اثنين من أقطاب كهربائية ، واحد هو القطب الموجب ( أنبوب أشعة الكاثود أو بندقية الإلكترون ) ، والآخر هو القطب السالب ( المتلقي ) . عندما امدادات الطاقة ذات الجهد العالي هو تطبيقها ، أنود تنبعث شعاع الالكترون الذي يصطدم مع جزيئات الغاز عندما يمر عبر منطقة فراغ ، مما تسبب في التأين و توليد الإلكترون ايون أزواج . هذه الأيونات هي مدفوعة من قبل المجال الكهربائي ، وتوليد تيار كهربائي على سطح الكاثود .
مع مختلف الهياكل الكهربائي وتصميم الدوائر ، فراغ متر يمكن تحقيق مختلف قياس المدى والحساسية . من بينها ، الكاثود الحراري فراغ متر يستخدم مبدأ انبعاث الإلكترونات الساخنة ، وتنتج الإلكترونات في منطقة فراغ ، و يحسب ضغط الغاز من خلال اصطدام الإلكترونات مع جزيئات الغاز . الكاثود الباردة فراغ قياس الضغط الجوي من خلال امتصاص الغاز على سطح الكاثود و desorption ، حساسية أعلى من الكاثود الساخن فراغ قياس ، والتي تنطبق على مجموعة واسعة من قياس .
في كلمة واحدة ، inficon فراغ متر يستخدم على نطاق واسع في العديد من التطبيقات ، مثل الخلايا الشمسية ، مواد البحث في مجال الالكترونيات الدقيقة ، تصنيع أشباه الموصلات مصنع ، مصنع الطيران ، وهلم جرا . فراغ قياس مختلفة لها خصائص مختلفة مثل قياس مدى وحجم وحساسية . ولذلك ، في اختيار واستخدام فراغ توقيت ، من الضروري تقييم الحالة الفعلية من أجل اختيار الصك المناسب .