مجهر القوة الذرية NX10

دقة التصوير,لا عبر اقتران الظاهرة

في هذه الصناعة ، XYZ محور متفوقة ، وعينات تحقيقات تسيطر عليها مستقلة مرنة توجيه الماسحات الضوئية .

* انخفاض إزاحة الطائرة ، وكامل عملية المسح الأفقي عند إزاحة الطائرة ليست أكثر من 1 نانومتر

خطي من الماسح الضوئي العمودي هو أفضل من 0.015 ٪ في حين تمتد في جميع أنحاء

تحسين مستوى الماسح الضوئي الطوق ، إلى الأمام sine-scan خوارزمية علمية

دقة المسح الضوئي ، وضع عدم الاتصال الحقيقي

صناعة متفوقة الماسح الضوئي الرأسي ، عرض النطاق الترددي أكثر من 9 كيلو هرتز ، يدقق في سرعة استجابة أجهزة الرأسي أكثر من 62mm / ثانية

* سريع سرعة المسح الضوئي في وضع عدم الاتصال

انخفاض ارتداء التحقيق يضمن جودة عالية المسح لفترة طويلة

عينة منخفضة جدا من الضرر

قياس دقيق ، عينة حقيقية التشكل

قياس مورفولوجيا العينة مع انخفاض الضوضاء كاشف التخلفية

صناعة متفوقة الحد الأدنى من الإيجابية والسلبية قياس الانحراف أقل من 0.15 في المائة

باستخدام الأمثل تبديد الحرارة ، الحرارية الانجراف والتباطؤ في النظام يمكن أن تقلص إلى حد كبير .

قوية متقدمة عزل الصوت هود ، المقصورة الداخلية التحكم في درجة الحرارة النشطة كفاءة العمل المستخدم

تصميم مفتوح لتسهيل استبدال تحقيقات والعينات

فائدة نموذج يحتوي على مزايا بسيطة ومريحة قياس الليزر عملية التكيف ، من أعلى إلى أسفل نظام المراقبة البصرية مع الطوب .

* * * * * * * * * * * * * * " عشر ثوان " وظيفة ، تحقيقات يمكن تلقائيا الانتهاء من عملية إدخال الإبرة في سرعة عالية

24 بت الرقمية مجلس الوزراء التحكم الكهربائية ، ثلاث مجموعات من المدمج في قفل تخزين كبيرة ، مع q-control ومرونة ثابتة معايرة وظيفة

المعايير الفنية

XYماسح ضوئي

حلقة مغلقة السيطرة نوع وحدة واحدة مرنة س ص الماسح الضوئي

مدى المسح الضوئي : 50

م × 50 م ( اختياري 100 م )

ميكرومتر * 100 ميكرومتر (

القرار

0.05 nmموقع الكشف عن الضوضاء : < 0.3 نانومتر ( عرض النطاق الترددي : 1 كيلو هرتز )

الخطي الأفقي : < 2nm ( أكثر من 40

μm scan)

ز

ماسح ضوئي

مرونة عالية القوة دليل الماسح الضوئي

مدى المسح الضوئي : 15

م ( اختياري 30 ميكرون )

القرار

0.015 nm

موقع الكشف عن الضوضاء : 0.03 نانومتر ( عرض النطاق الترددي : 1 كيلو هرتز )

تردد الرنين

> 9 kHz (typically 10.5 kHz)

سطح التصوير الضوضاء : < 0.03 نانومتر ( 0.02 نانومتر typecal )

نظام بصري

مباشرة عرض محوري نظام بصري قادر على مراقبة عينة التحقيق
视场: 480
× 360 ميكروم (10 × عدسة الهدف)

اتفاقية مكافحة التصحر : 1M بكسل ( بكسل القرار : 0.4 ميكرون )
عدسة الهدف
10x ( 0.21 نا ) عدسة المدى الطويل جدا ( 1 ميكرون القرار )

20x ( 0.42 نا ) عالية الدقة عدسة طويلة المدى ( 0.6 ميكرون القرار )

معالجة الإشارات

شركة تطوير العقبة : 18 قناة

4 قنوات ADC عالية السرعة ( 50 MSPS )

س ، ص ، ض الماسح الضوئي لتحديد المواقع الاستشعار 24 بت ADCS

لجنة المساعدة الإنمائية : 12 قناة

2 قنوات عالية السرعة لجنة المساعدة الإنمائية ( 50 MSPS )

س ، ص ، ض الماسحات الضوئية لتحديد 20 بت لجنة المساعدة الإنمائية