كل عملية التعقيم بيروكسيد الهيدروجين مولد ينقسم إلى خمس مراحل : التجفيف ، التسخين ، التنظيم ، والتعقيم ، وإزالة بقايا .
( 1 ) مرحلة التجفيف
من خلال نظام تكييف الهواء في غرفة نظيفة ، الرطوبة النسبية في البيئة في الأماكن المغلقة يمكن أن تخفض إلى مجموعة من الرطوبة اللازمة البيولوجية إزالة التلوث . الرطوبة النسبية ≤ 55 ٪ RH ، ثم إيقاف تشغيل نظام تكييف الهواء ؛
مرحلة التسخين
المعدات من خلال خط أنابيب التسخين الذاتي لضمان تبخير غاز بيروكسيد الهيدروجين في خط أنابيب لا يمكن أن تتكثف في البرد ، حتى أن الغاز يتبخر تماما .
( 3 ) مرحلة التنظيم
بيروكسيد الهيدروجين الحل هو حقن المكربن لتبخير إلى بخار بيروكسيد الهيدروجين ، ثم يتم إدخالها في الفضاء المغلقة من خلال مروحة حتى التركيزات المتوقعة التي تم التوصل إليها .
مرحلة التعقيم
تلقائيا ضبط الجرعات ، مواصلة إدخال بخار بيروكسيد الهيدروجين ، والحفاظ على التركيز المتوقع ؛
( 5 ) مرحلة التصريف
المعدات تلقائيا يدخل مرحلة إزالة بقايا بيروكسيد الهيدروجين ، معدات خط أنابيب إزالة بقايا بقايا من خلال نظام إزالة المعدات ونظام التهوية في تعقيم الفضاء لمزيد من إزالة بقايا حتى تركيز بيروكسيد الهيدروجين تصل إلى أقل من تركيز آمنة .