مختبر المواد الكيميائية المبردات غير القياسية مطابقة متطلبات التخصيص الدقيق

مختبر المواد الكيميائية المبردات غير القياسية مطابقة متطلبات التخصيص الدقيق

مختبر المواد الكيميائية المبردات غير القياسية مطابقة متطلبات التخصيص الدقيق

تبريد المياه في مصنع أشباه الموصلات يجب أن تلبي متطلبات صارمة من الاستقرار في درجة الحرارة ، وسرعة تبديد الحرارة ، ومقاومة التآكل ، الخ .

تطبيق نموذجي في ارتفاع الحرارة

1عملية النقش（النقش البلازماو

عالية التردد الحقل الكهربائي يولد لحظة ارتفاع في درجة الحرارة ، تبريد المياه آلة تحتاج إلى تبديد الحرارة بسرعة للحفاظ على درجة حرارة الغرفة مستقرة ، وتجنب النقش قيم تقلب .

2زرع الأيونات

عندما الطاقة العالية شعاع ايون القصف على رقاقة ، تركيز الحرارة المتولدة ، مبرد المياه يحتاج إلى تبريد القرص الهدف و شعاع مكون لمنع الضرر شعرية و تفاوت المنشطات .

3نشر والأكسدة

عندما تكون درجة حرارة الفرن الجسم عالية ، مبرد المياه يجب أن تأخذ الحرارة بعيدا بسرعة ، ومنع الجسم من تسخين الفرن والحفاظ على درجة الحرارة التوحيد ، وتجنب تشويه رقاقة بسبب الإجهاد الحراري .

4الكيميائية تلميع الميكانيكية( أ )CMPو

ارتفاع في درجة الحرارة الناجمة عن الاحتكاك تلميع من السهل أن يؤدي إلى تطاير سائل تلميع ، تبريد المياه آلة تلميع منصة نظام القيادة ، والحد من العيوب السطحية .

5ترسب الفيلم( أ )CVD / PVDو

ارتفاع درجة حرارة الغاز في غرفة التفاعل يحتاج إلى تبريد سريع لمنع رد فعل الجانبنالاخرق الهدف التبريد يمكن أن يطيل عمر خدمة وتحسين التوحيد من الفيلم .

الصعوبات التقنية والحلول من أجل التحكم في درجة الحرارة العالية للحرارة

1عالية الدقة التحكم في درجة الحرارة

تحتاج إلى تحقيق±0.5℃التحكم في درجة الحرارة الدقة ، من خلال نظام التبريد متعدد المراحل وديناميةPIDخوارزمية التكيف .

2قدرة التبريد السريع

بعض المشاهد تحتاج إلى وقت قصير لتحقيق فرق كبير في درجة الحرارة والتبريد ، ضاغط لوحة مبادل حراري تستخدم لتحسين كفاءة التبريد .

3انخفاض الضوضاء والاهتزاز تصميم

ضاغط عزل الصوت غطاء امتصاص الصدمات هيكل يمكن أن تمنع الاهتزاز من التدخل في عملية الطباعة الحجرية ، الخ .

ذكي وكفاءة الطاقة الأمثل

دمج أجهزة استشعار الضغط ، صمام الكهرومغناطيسي ثلاثي ، لتحقيق خط أنابيب الضغط و التداول الداخلي التبديلننظام مراقبة ذكي يقلل من استهلاك الطاقة .

النقاط الرئيسية في اختيار المبردات

1قدرة التبريد مطابقة

اختيار قدرة التبريد أكبر قليلا من الطلب حسب قدرة التبريد من المعدات（التكرار في التصميموتجنب الفشل في التحكم في درجة الحرارة بسبب الحمل الزائد أو عدم الكفاءة .

2اختيار طريقة التبريد

الأمثل تبريد المياه عالية الطاقة نوع المشهد（كفاءة عاليةومساحة محدودة باستخدام نوع تبريد الهواء（مرنة ولكن أقل كفاءةومنتدى

3مطابقة المواد والتكنولوجيا

اختيار وظيفة العزل واقية من الانفجارن

تردد متغير ضاغط المستخدمة لتلبية معايير الإنتاج في مصنع أشباه الموصلات .

ارتفاع الحرارة الافراج عن المشهد في مصنع أشباه الموصلات يتطلب دقة التحكم في درجة الحرارة ، تبديد الحرارة كفاءة تبريد المياه . شبه ثابت درجة حرارة أشباه الموصلات تبريد المياه يدعم متعدد القنوات التحكم في درجة الحرارة ، ويغطي كامل عملية من رقاقة تصنيع التعبئة والتغليف والاختبار .