نظام التحكم في درجة الحرارة يمكن أن تكون مخصصة مع عملية بسيطة في المختبر مبرد المياه

نظام التحكم في درجة الحرارة يمكن أن تكون مخصصة مع عملية بسيطة في المختبر مبرد المياه

نظام التحكم في درجة الحرارة يمكن أن تكون مخصصة مع عملية بسيطة في المختبر مبرد المياه

وفيما يلي بعض النقاط الرئيسية في التحليل الفني وتطبيق التردد المتغير المبردات لتوفير مصدر التبريد في عملية تصنيع أشباه الموصلات .

تطبيق الأساسية المشهد في تصنيع أشباه الموصلات

1رقاقة تصنيع العمليات الرئيسية

photoetching العملية : الحاجة إلى تبريد سريع photoetching آلة مصدر الضوء العامة（مثل الليزر ، عدسةوتجنب التقلبات في درجة الحرارة الناجمة عن التغيرات في مقاومة للضوء اللزوجة ، مما يؤثر على دقة التعرض . من خلال دينامية تنظيم سرعة دوران الضاغط ، تحقيق±0.1℃دقة التحكم في درجة الحرارة ، وضمان رقاقة القرار .

2النقش رقيقة ترسب

النقش البلازماCVD / PVDرد فعل درجة حرارة الغرفة يجب أن تكون مستقرة في-40℃~200℃واسعة في مجال درجة الحرارة ، تردد متغير عميق آلة التبريد من خلال نظام التبريد متعدد المراحل（أشباه الموصلات التبريد ورقة في سلسلةوتأثير رد فعل الجانب وتعزيز التوحيد من الفيلم .

3رقاقة تنظيف وتلميع

درجة حرارة سائل التنظيف يجب أن تسيطر عليها بدقة ، وبالتالي منع حل الكيميائية من التلف على سطح رقاقة بسبب تقلبات درجة الحرارة .؛ CMPعملية التبريد وسادة التلميع ، والحد من حرارة الاحتكاك الناجم عن العيوب السطحية .

4التعبئة والتغليف واختبار الروابط

رقاقة يصلب ، يصلب ، الخ .-80℃انخفاض درجة حرارة البيئة（مثل استخدام جلايكول الإثيلين المبردات الناقلوتسريع عملية المعالجة ، والحد من الإجهاد الحراري ، وتحسين موثوقية التعبئة والتغليف .

النقاط الرئيسية في اختيار وتشغيل وصيانة

قدرة التبريد مطابقة

التكرار يجب أن تكون محفوظة حسب ذروة عملية الحمل الحراري ، على سبيل المثال50 كيلوواطاختيار وإعداد قدرة التبريد≥60 كيلوواطوحدة التبريد العميق .

ملاءمة البيئة

غرفة نظيفة المشهد يحتاج إلى تكوينهيبانظام الترشيحنبيئة تآكل يفضل سبائك التيتانيومنواقية من الانفجار واقية من الانفجار نوع العزل يتم اختيارها في المناسبات .

مع مزايا واسعة النطاق درجة الحرارة ، عالية الدقة ، intellectualized ، تردد تحويل المبردات العميقة تحتاج إلى النظر في عملية اختيار المناسب .